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關懷動物 　 　 　 　

　

　

　

scoater.JPG (3278 個位元組)

適用

於半導體之晶片 光阻劑塗佈

人工方式作業 或 半自動方式

高轉速特殊中空軸直流馬達 速度可調整 速度穩定

人機介面採用觸控式螢幕 提供操作人員最佳操作方式

雷射輔助定位點 有效降低破片

wc03.jpg (12535 個位元組)

全不鏽鋼coating tank

wc21.JPG (12351 個位元組)

 　

wcc1.jpg (10502 個位元組)

　

CHUCKN02.jpg (13851 個位元組)

各式chuck

　

生產用機台

wc3.jpg (15350 個位元組)

桌上型機台
全新設計 完全數位化控制 可預先設定8種 製程 操作者可快速變換製程

更細緻的速度控制 穩定性比以往機種更高

採用Keyence 電子式 真空sensor 即時顯示真空度 減少破片 提高良率

裝置 FESTO 真空逆止裝置 減少破片 提高良率

COATING 槽 特別設計 減少晶片背面污染

人機介面採用觸控式螢幕 提供操作人員最佳操作方式

雷射輔助定位點 有效降低破片wc20.JPG (16108 個位元組)

　

tpanel.jpg (9475 個位元組)

　

觸控螢幕操作

wc12.jpg (9228 個位元組)

laser point

　

半自動機台

　

　
　
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