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設備名稱 HJ-W003 WAFER COATER

體積

W 1400 * L 850 * H 1350 mm

重量

100 KG

輸入電壓

AC 110V 10A

工作真空

-600mmHg 10CFM

PLC

LG MASTERK-200s

UI

EASYVIEW 200

真空感應器

KEYENCE AP-31

SPINDLE

DC90V 中空軸馬達

對正指引

laser point

全新數位設定 可預先設定8種製程 轉速比類比調整方式更穩定

兩組作業系統 兩組獨立作業系統 加速作業的進行 或同時作業

自動省電裝置 自動感應 自動關閉部分電源

真空監視系統 隨時監視真空情況 並有安裝真空逆止閥 解決晶片破片的問題