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sdryer.JPG (3094 個位元組)

用途

利用 高速離心力 及熱氮氣 將 wafer die上的水分 脫乾

1.採用高轉距馬達 提供平穩的旋轉速度 及力量 最高速 1300 rpm

2.操作時間設定 顯示 轉速 都從觸控螢幕上 一目了然

3.機台特殊防震設計 及旋轉架平衡校正 將震動降至最低

4. 氮氣加熱裝置

5.上蓋自動開啟關閉 減少操作上的危險

6.清洗裝置 清洗旋乾

7.自動程序控制 簡化操作 提高效率

 

 

 cas1.jpg (11159 個位元組)

卡匣

cas2.jpg (11700 個位元組)

sdryer02.jpg (20049 個位元組)  

 

 

 
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