Методами вакуумного напилення (резистивним, дискретним) та ВЧ-магнетронного
розпилення мішеней в аргоновій плазмі на різносортних підкладках при Тп=300-500К
отримано тонкоплівкові конденсати ScCu4.
Товщини плівок були 0,07-0,3 мкм. Хімічний склад плівок і вихідної шихти
за даними "Camebax" не відрізнявся.. Структура плівок досліджувалась методами
електронографії (ЭГ-100М) та рентгенівської дифрактометрії (ДРОН-04-07),
температурні залежності питомої електропровідності та термо-е.р.с. зразків
вимірювали в інтервалі 120-500К.
Встановлено, що під час вакуумного напилення при Тп=300-500К
плівки SсCu4 конденсуються в аморфному
стані. Після магнетронного напилення при Тп=300-600К
структура плівок залишається невпорядкованою, однак в матрицях плівок простежується
утворення локальних мікроугрупувань атомів, відмінних за складом
та будовою від основної аморфної матриці. Вивчено вплив умов відпалювання
на кінетику переходу з аморфного до кристалічного стану плівок
ScCu4, поміщених в евакуйовані кварцові
ампули, та зокрема встановлено, що за звичай при Твідп.=870K
і тривалості 2 тижні простежується ревипаровування конденсату з підкладки.
Виявлено, що електрофізичні властивості структурно невпорядкованих плівок
ScCu4 залежать від методу отримання та
умов осадження і не залежать від типу підкладки. Плівки, отримані вакуумним
напиленням, характеризуються значеннями R300K
і S300K , близькими за величинами до масивних
зразків і володіють металічним ходом електропровідності. При магнетронному
напиленні отримуються зразки з значенням R300K,
більшим ніж у вакуумно осаджених конденсатах на 2-3 порядки. В області
Т>250К вони володіють напівпровідниковим ходом провідності з термічною
енергією активації 0.25 еВ, а при Т<250K відбувається перехід до стрибкового
механізму провідності.