Структура, термічна стійкість та кінетика фазових перетворень плівок системи
GaSb-Sn, одержаних дискретним випаровуванням у вакуумі вивчалась на електронографі
ЭГ-100 та електронному мікроскопі УЭМВ-100К. Спочатку досліджувались плівки
сформовані на підкладках, що знаходились в процесі осадження при кімнатній
температурі. Як показали електронографічні дослідження, при таких умовах
осадження гомогенні аморфні плівки формуються лише до концентрації олова
біля 70 ат.%. Вище цієї концентрації навіть при кімнатній температурі підкладок
осаджуються двофазні полікристалічні плівки з фазами b-Sn i GaSb. Зі збільшенням
концентрації олова в аморфних плівках GaSb-Sn, зростає найближча міжатомна
відстань (від 2.78 до 2.81 А) при збереженні характерної для аморфного
антимоніду галію потрійної атомної координації в розподілі найближчих сусідів.
Під час неперервного нагріву аморфних плівок безпосередньо в колоні мікроскопа
виявлено, що з ростом концентрації олова термічна стійкість аморфного стану
знижується від 390К до 310К. Первинною фазою кристалізації є кристаліти
b-Sn. Суттєві структурні зміни простежуються ще в аморфному стані, коли
на початкових стадіях відпалювання проходить розділення однорідного аморфного
середовища на дві аморфні фази.
Під час осадження на підкладки, що знаходились при температурах близьких
до кристалізаційних формуються неоднорідні аморфні плівки. Хоча рівновага
системи GaSb-Sn в масивному стані описується діаграмою евтектичного типу,
а взаємна розчинність компонентів не перевищує 1%, в тонкоплівковому стані
нами виявлено формування при підвищених температурах підкладок кристалічних
метастабільних твердих розчинів заміщення типу (GaSb)1-х(Sn2)х
в концентраційному інтервалі 0<x<0.11. Метастабільні кристалічні
тверді розчини заміщення на базі структури типу сфалериту з тетраедричним
атомним розміщенням при температурі біля 430К розпадаються на фазу b-Sn
i GaSb. З підвищенням температури підкладки кристалітами твердого метастабільного
розчину формуються кристаліти b-Sn, а при температурі підкладки понад 440К
осаджуються двофазні полікристалічні плівки.
Побудовано концентраційно-температурні діаграми областей існування аморфного
стану і метастабільних кристалічних твердих розчинів в плівках системи
GaSb-Sn.